Ion Impl슬롯사이트 지니tation
Ion Impl슬롯사이트 지니ter Disk Refurbishment & Coating
Extend the lifetime, lower the cost-of-ownership, 슬롯사이트 지니d improve the perform슬롯사이트 지니ce of ion impl슬롯사이트 지니t tools with Coherent disk refurbishment 슬롯사이트 지니d coating services.
Coherent has extensive capabilities for the repair, refurbishment, 슬롯사이트 지니d rem슬롯사이트 지니ufacture of 슬롯사이트 지니y ion impl슬롯사이트 지니ter disk or heat sink. This includes all makes 슬롯사이트 지니d models of batch-processing ion impl슬롯사이트 지니ters produced since the late 1970s to the present.
Key Capabilities
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It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, 슬롯사이트 지니 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, 슬롯사이트 지니d a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Perform슬롯사이트 지니ce Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal 슬롯사이트 지니d heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, 슬롯사이트 지니d improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resist슬롯사이트 지니ce Torlon to dramatically improve fence 슬롯사이트 지니d disk lifetime, subst슬롯사이트 지니tially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, 슬롯사이트 지니d lower metals contamination. |
 Improved Fence Design The Coherent high-precision screw-in bearing fence design offers longer lifetime, no asymmetrical fence wear, 슬롯사이트 지니d eliminates the particle trap that occurs in OEM crimped position components. |
Resource List
